摘要：激光清洗技术是一种新的高效无污染的清洗技术，与传统的清洗技术相比有很大的优势。在工业生产中，也常常需要用到清洗技术。概述了激光清洗技术在微电子器件清洗、航空制造业、模具清洗等领域的应用。 关键词：激光；非接触；“绿色”清洗；工业应用    

    1. 前言  

　　随着科学技术的发展，激光清洗技术应运而生。  

　　激光清洗技术是指采用高能激光束照射工作表面，使表面的污物，锈斑或涂层发生瞬间蒸发或剥离，高速有效地清除清洁对象表面附着物或表面涂层，从而达到洁净的工艺过程。它是一种非接触加工，可方便地实现远距离操作，可以通过光导纤维传输与机器人或者机械手联合，方便地实现自动化操作；能清洗传统方法不易达到的部位；去污成本低；可以选择性地清洗材料表面的污物，不损伤材料的内部组成和结构。 

　　在工业生产中，常常需要用到清洗技术。例如，工业制品在电镀、磷化、喷涂、焊接、包装以及集成线路的装配时，为保证下道工序中工件的质量，必须除去产品表面上的油脂、灰尘、锈垢或残留的溶剂、粘结剂等污物。
   
    2. 激光清洗的原理  

　　激光同电子束和离子束统称为高能束，共同特点是束流携带着很高的能量在空间传输，通过聚焦，在焦点附近可得到104～1015W／cm2功率密度的照射，是强度最高的热源。激光具有高亮度，高方向性、高单色性和高相干性的特点，这是普通光源所无法比拟的。利用激光的高亮度，经过透镜聚焦后，能在焦点附近产生上千度甚至上万度的温度。激光的高方向性使得激光能有效进行长距离传输。激光的单色性极高，波长单一，有利于聚焦和波长选择。  

　　激光器发出的激光从光纤中传输到聚焦镜头，聚焦后从喷嘴内孔抵达需清洗工件表面。通常使用喷嘴，借助于与激光同轴的小孔喷嘴将具有一定压力的气体吹到清洗区。气体由辅助气源提供，其主要作用为防止镜头被飞溅物和烟尘污染，并起到净化工件表面，强化激光与材料的热作用。  

    物体表面附着的细微颗粒主要有氧化物和灰尘。激光清洗颗粒的机制是在激光束辐射下颗粒的热膨胀、基体表面的热膨胀和施于颗粒的光压等三种。当这些作用力的合力（清洗力）大于物体表面对颗粒的粘着力时，颗粒就会脱落，而得到清洗[1]。   

    3. 激光清洗技术的方法和特点 
  
    激光清洗方法有4种[4]： 
  
　　⑴ 激光干洗法，即采用脉冲激光直接辐射去污；
   
　　⑵ 激光＋液膜方法，即首先沉积一层液膜于基体表面，然后用激光辐射去污；当激光照射于液膜上时，液膜急剧受热，产生爆炸性汽化，爆炸性冲击波使基体表面的污物松散。并随冲击波飞离加工物体表面，达到去污的目的。
   
　　⑶ 激光＋惰性气体的方法，即在激光辐射的同时，用惰性气体吹向基体表面，当污物从表面剥离后会立即被气体吹离表面，以避免表面被再次污染和氧化；